熱場采用細結構中粗石墨做爐底護盤.保溫罩.上下蓋
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發(fā)布時間:2022-04-04 11:53:53
一.單晶硅石墨熱場,是一個及物理.化學.幾何綜合理論為一體,專門研究人員經(jīng)過多年反復考證。多年經(jīng)驗總結制定。
二.熱場采用細結構中粗石墨做爐底護盤.保溫罩.上下蓋。采用進口等靜壓石墨做加熱器.坩堝.導流筒.托桿.鍋托等,保證了石墨坩堝的強度.及純度。
三.熱場是單晶硅成晶的重要條件之一,熱場的梯度分布直接影響著能不能拉出單晶,以及拉制單晶的質(zhì)量好壞,其材質(zhì)好壞直接影響熱場壽命。本公司與中國最早生產(chǎn)單晶硅企業(yè)合作十幾年。合作結合國內(nèi)外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨熱場,成立了自己的石墨熱場本公司的石墨熱場經(jīng)過晶龍集團.常州天合.河北逐鹿單晶硅生產(chǎn)基地。長期應用,對所用石墨材料及整個熱場壽命加以肯定。為以后生產(chǎn)特制定如下標準。